[实用新型]薄膜太阳能电池退火装置

摘要

一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，包括退火炉、多个加热壁及固定座。所述退火炉为中空结构，其内部为反应空间；所述多个加热壁间隔设置于所述退火炉中，将所述反应空间分割为多个退火腔，所述加热壁上设有加热器；所述固定座为“U”字形结构，其上开设插槽，所述基片的部分边缘卡设于所述插槽中，并与所述固定座一同收容于所述退火腔中。上述薄膜太阳能电池退火装置中，退火腔的空间较小，很容易达到硒或硫的饱和蒸汽压，防止硒或硫从基片中脱出，节省了硒或硫的用料。

主权项

一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，其特征在于，包括：退火炉，为中空结构，所述退火炉内部为反应空间；多个加热壁，间隔设置于所述退火炉中，将所述反应空间分割为多个退火腔，所述加热壁上设有加热器；及固定座，为“U”字形结构，其上开设插槽，所述基片的部分边缘卡设于所述插槽中，并与所述固定座一同收容于所述退火腔中。