[实用新型]一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置。所述装置从上至下依次包括驱动马达、传动杆、磁驱动部件及衬底固定盘架；所述磁驱动部件与衬底固定盘架之间设有冷却密封部件，所述磁驱动部件通过转动杆连接衬底固定盘架。所述电子束蒸镀装置安装有衬底冷却装置。本实用新型所述的衬底冷却装置及电子束蒸镀装置具有结构简单、合理，操作容易的特点，可以有效防止Lift-off工艺中光刻胶图案因升温而导致的热胀变形或者熔融，使得所制备的微纳图形满足设计的要求，减少由于设备原因对样品造成的误差或者破坏。

主权项

一种衬底冷却装置，其特征在于，所述装置从上至下依次包括驱动马达（9）、传动杆（10）、磁驱动部件及衬底固定盘架（6）；所述磁驱动部件与衬底固定盘架（6）之间设有冷却密封部件（12），所述磁驱动部件通过转动杆（14）连接衬底固定盘架（6）。