[实用新型]一种蓝宝石退火工装有效
| 申请号： | 201220745315.5 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN203007496U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王瑞娟 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 聂磊 |
| 地址： | 266114 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蓝宝石退火工装，它包括氧化铝盘，氧化铝盘上设置圆周阵列的卡槽；卡槽保证晶片可以固定不动，避免摔碎，氧化铝盘按照生产需要随时调节退火数量，工装的卡槽可以按照晶片尺寸和厚度来调节，灵活性大，适应性强；避免晶片和晶片之间互相污染，并保证每片晶片所处温厂恒定均匀，使退火后晶片的翘曲达到一致，应力释放完全；材质同蓝宝石衬底，避免了退火过程对晶片的再次沾污。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 退火 工装 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石退火工装，其特征在于：它包括氧化铝盘，氧化铝盘上设置圆周阵列的卡槽。
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