[实用新型]高温反偏实时监控系统有效
| 申请号： | 201220748744.8 | 申请日： | 2012-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203069741U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴欢欢;符强;魏建中 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R19/165 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所 33235 | 代理人： | 张德宝 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高温反偏实时监控系统，包括主控中心、系统电源、若干监测单元和若干老化板，监测单元包括数控高压电路和测试监控电路，数控高压电路和测试监控电路均分别与主控中心和老化板相连；数控高压电路接收主控中心发送的反偏电压信息，老化板加载数控高压电路输出的反偏电源，老化板实时输出每个半导体器件的反偏漏电流到测试监控电路中，测试监控电路输出反偏漏电流数据信息，主控中心接收并存储反偏漏电流数据信息。本实用新型既能满足半导体器件应用厂家对半导体器件进行的老化筛选试验，又能满足半导体器件设计生产厂家对半导体器件进行大量老化分析试验。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 实时 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述监控系统包括主控中心、系统电源、用于提供反偏电源及实时监测半导体器件反偏漏电流的若干监测单元和安装在高温烘箱内用于连接半导体器件的若干老化板，单个监测单元用于监测其中一块老化板中的半导体器件，主控中心和监测单元均由系统电源供电；所述监测单元包括用于提供反偏电源的数控高压电路和用于实时传递及存储老化板中各半导体器件反偏漏电流的测试监控电路，数控高压电路和测试监控电路均分别与主控中心和老化板相连；数控高压电路接收主控中心发送的反偏电压信息，老化板加载数控高压电路输出的反偏电源，老化板输出每个半导体器件的反偏漏电流到测试监控电路中，测试监控电路实时处理反偏漏电流并输出反偏漏电流数据信息，主控中心接收并存储反偏漏电流数据信息。
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