[实用新型]液体连续供应装置有效
| 申请号： | 201220748816.9 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203010206U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈枫;熊世伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。本实用新型根据需要实现液体的连续供应。此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 连续 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种液体连续供应装置，其特征在于，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。
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