[实用新型]硅片洗净机有效
| 申请号： | 201220750621.8 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202984178U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王东梅 | 申请（专利权）人： | 宇骏（潍坊）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片洗净机，包括加热器，所述洗净机还包括罩设在所述加热器外侧的防护罩，所述防护罩的形状为方形，所述洗净机的输水管穿过所述防护罩。由于将加热器设置在防护罩的内部，使加热器不直接暴露在外部，避免了加热器与运料车直接相撞的现象发生，使加热器免受损坏，保证了加热器正常运行以及药液的正常加温，保障了硅片的清洗质量；由于输水管从防护罩中穿过，使防护罩安装位置固定，不易移位。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 洗净 | ||
【主权项】：
硅片洗净机，包括加热器，其特征在于：所述洗净机还包括罩设在所述加热器外侧的防护罩，所述防护罩的形状为方形，所述洗净机的输水管穿过所述防护罩。
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