[发明专利]一种移相器和耦合器及其制造方法无效
| 申请号： | 201280000484.9 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102763264A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 许牧;高磊;苏翼凯;李菲 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司;上海交通大学 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 518129 中国广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种移相器和耦合器及其制造方法，涉及光子学领域，能够减小光学损耗、提高光场能量利用率并提高器件响应速度。该移相器包括：底层硅层和覆盖底层硅层的绝缘层；覆盖绝缘层的顶层硅层，顶层硅层包括两个隔离槽，两个隔离槽被公共槽壁隔开，该公共槽壁即波导，波导的高度高于两个隔离槽的外侧槽壁；分别覆盖两个隔离槽的两个外侧槽壁的第一阴极金属层和第二阴极金属层；覆盖第一阴极金属层、第二阴极金属层和顶层硅层的电光聚合物材料层；形成在波导上方的电光聚合物材料层上方的上层电极，上层电极和波导之间形成有被电光聚合物材料层填充的狭缝；覆盖上层电极和电光聚合物材料层的第二保护层。本发明实施例应用于电光移相。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移相器 耦合器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司;上海交通大学，未经华为技术有限公司;上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280000484.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种户外用伞可调节式支撑叉
- 下一篇：液晶显示装置
