[发明专利]纤维传送激光光学系统有效
| 申请号： | 201280001616.X | 申请日： | 2012-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102959685A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 矢幡祯也;相田善明;富樫陵太郎;佐藤亮介;井波俊夫;草间秀晃 | 申请（专利权）人： | 昭和光电株式会社;株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | H01L21/268 | 分类号： | H01L21/268;B23K26/06;B23K26/073;B23K26/08;H01L21/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孟祥海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种纤维传送激光光学系统(1)，其包括：第一光纤(3)，其传送从激光振荡器(2)输出的激光；准直透镜(4)，其校准从第一光纤(3)射出的激光；球面阵列透镜(5)，其利用多个单元(5a)把从准直透镜(4)射出的激光会聚成多点光点；多个第二光纤(6)，其具有比第一光纤(3)小的芯径，使由球面阵列透镜(5)会聚成多点光点的各激光入射，且使射出端(6b)的轴线相互平行而排列成直线状的一列；以及光学系统(7～11)，其把从多个第二光纤(6)射出的激光形成为在照射面(12)上构成直线状的激光。即使传送来自激光振荡器的激光的光纤具有较大的芯径，也能形成短边方向的尺寸较小的线状光束。 | ||
| 搜索关键词： | 纤维 传送 激光 光学系统 | ||
【主权项】：
一种纤维传送激光光学系统，其特征在于，包括：第一光纤，其传送从激光振荡器输出的激光；准直透镜，其校准从该第一光纤射出的激光；阵列透镜，其利用多个单元将从该准直透镜射出的激光会聚成多点光点；多个第二光纤，其具有比上述第一光纤小的芯径，使利用上述阵列透镜会聚成多点光点的各激光入射，且使射出端的轴线相互平行而排列成直线状的一列；以及线性化光学系统，其将从该多个第二光纤射出的激光形成为在照射面上构成直线状的激光。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
