[发明专利]使用了CCD摄像机的测定装置以及其响应时间的缩短方法

摘要

测定装置（100）的响应时间的缩短方法，在预先设定的控制周期的时间内，控制CCD摄像机的曝光时间，所述缩短方法的特征在于，CCD摄像机采用同时得到不同透射率的2个以上的滤光器输出的摄像机，透射率为εND1＞εND2＞…εNDi＞εNDi＋1＞…＞εNDi＋n，是使检测出输入光量的最小值的透射率εNDi高的第一滤光器的摄像机输出的测定范围的饱和值、与透射率εNDi＋1低的第二滤光器的摄像机输出的测定范围的最小值重叠那样的透射率，在第一滤光器的摄像机输出饱和的情况下，根据第二滤光器的摄像机输出，或者，根据透射率εNDi与透射率εNDi＋1的比率，求取换算为第一滤光器的摄像机输出的曝光时间的校正增益，以前次的控制周期检测输入光量，以下次的控制周期更新第一滤光器的摄像机的曝光时间。

主权项

一种使用了CCD摄像机的测定装置，具备检测部和控制部，所述检测部具备对被测定物的表面照射激光束的光源部和检测该激光束的反射光的线扫描型的CCD摄像机，所述控制部根据所述CCD摄像机的输出求取该测定物的形状等测定量，所述测定装置的特征在于，所述控制部具备：控制电路，生成由该控制部求得的测定量的控制周期信号，并将其提供到该控制部内的各部，并且，输入所述CCD摄像机的摄像机输出信号并进行传送；存储器，存储来自所述CCD摄像机的从所述控制电路传送的摄像机输出信号；AGC电路部，对存储的所述摄像机输出信号的摄像机数据与预先设定的摄像机输出等级的设定值进行比较，以使该摄像机输出为恒定的方式控制在所述CCD摄像机的所述控制周期的时间内设定的曝光时间；以及运算部，根据由所述AGC电路部控制的所述CCD数据，求取所述测定量，所述CCD摄像机采用同时得到线扫描型的多个不同透射率的每个ND滤光器的输出的摄像机，所述ND滤光器包括透射率εND0的第一ND滤光器、透射率εND1的第二ND滤光器、透射率εND2的第三ND滤光器，所述透射率的大小为εND0＞εND1＞εND2，而且，是使所述第一ND滤光器的摄像机输出的饱和值和所述第二ND滤光器的测定范围的下限值、还有所述第二ND滤光器的饱和值和所述第三ND滤光器的测定范围的下限值分别重叠那样的透射率，所述AGC电路部判定所述第一ND滤光器的摄像机输出是否饱和，在不饱和的情况下，求取所述摄像机输出等级的设定值与该第一ND滤光器的输出D0的比率，并求取第一校正增益α1，进而，求取与求得的第一校正增益对应的曝光时间，将校正前的曝光时间更新为所述曝光时间，在所述第一ND滤光器的摄像机输出饱和的情况下，进一步判定所述第二ND滤光器的摄像机输出饱和/不饱和，在所述第二ND滤光器的摄像机输出不饱和的情况下，对该第二ND滤光器2摄像机输出D1，根据所述设定值与所述第一ND滤光器的输出D1的比率，求取第二校正增益，进而，求取与求得的第二校正增益对应的曝光时间，将校正前的曝光时间更新为 所述曝光时间，在所述第二ND滤光器的摄像机输出饱和的情况下，对该第三ND滤光器的摄像机输出D2，根据所述设定值与所述第一ND滤光器的输出的比率，求取第三校正增益，进而，求取与求得的第三校正增益对应的曝光时间，将校正前的曝光时间更新为所述曝光时间，在有使所述CCD摄像机的所述第一ND滤光器的摄像机输出饱和那样的过大输入光量的情况下，对其程度，根据所述第二ND滤光器的摄像机输出或者所述第三ND滤光器的摄像机输出，求取对所述第一ND滤光器的校正增益，能用一次曝光时间的变更进行测定。