[发明专利]用于染料敏化太阳能电池的柔性Ti-In-Zn-O透明电极、使用它的高电导率的插入有金属的三层透明电极及其制造方法有效
| 申请号： | 201280003230.2 | 申请日： | 2012-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103154301A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 许起锡;金太源;朴在喆;金光永 | 申请（专利权）人： | 韩国生产技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/20;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;吕俊刚 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于染料敏化太阳能电池的柔性透明电极及其制造方法，更具体地，涉及用于染料敏化太阳能电池的柔性Ti-In-Zn-O透明电极及其制造方法，并且涉及利用了柔性透明电极的具有高电导率的插入有金属的三层透明电极及其制造方法，其中，与具有高沉积温度的常规的掺氟氧化锡（FTO）和氧化铟锡（ITO）透明电极相比，尽管在室温下或低温下被沉积，但是柔性透明电极仍具有低表面电阻、高电导率和透射率、对外部弯曲的优异抵抗度、提高的表面特性以及更好的表面粗糙度性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 染料 太阳能电池 柔性 ti in zn 透明 电极 使用 电导率 插入 金属 三层 及其 | ||
【主权项】：
一种制造用于染料敏化太阳能电池的柔性Ti‑In‑Zn‑O透明电极的方法，所述方法包括以下步骤：制备柔性透明基板；以及将Ti和IZO同时沉积在所述基板上或者应用单个Ti‑In‑Zn‑O靶，由此形成Ti‑In‑Zn‑O薄膜。
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