[发明专利]用于校准安装在主动磁悬浮支座上的机器人的方法

摘要

用于校准安装在主动磁悬浮支座上且具有夹具的机器人的方法，该夹具沿z轴线竖直可定位且在第一磁悬浮支座中沿x轴线可移动且在第二磁悬浮支座中沿y轴线可移动。通过本发明试图能够快速且精确地定向机器人的夹具。这通过以下步骤实现：将第一和第二磁悬浮支座划分成每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）；限定对于X、Y、Z轴线的设定点中心坐标以及对于角位置δ、ε的设定点值并且将设定点值变换成对于每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的竖直设定点位置的设定点值，对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的电磁体指定致动力F1-F4；对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）确定在每种情况下的当前竖直位置；测量所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的当前竖直位置z且转换成实际中心坐标；将实际中心坐标与设定点中心坐标进行比较，确定偏差且重复前述步骤。

主权项

一种用于校准安装在主动磁悬浮支座上且具有夹具的机器人的方法，该夹具沿z轴线竖直可定位，用于拾取且操纵硅晶片且将它们放置在运输箱中，在运输箱中多个硅晶片以固定的竖直间隔可存储，其中所述夹具在第一磁悬浮支座中沿x轴线可移动且在第二磁悬浮支座中沿y轴线可移动，其特征在于：‑将第一和第二磁悬浮支座划分成每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）；‑限定对于X、Y、Z轴线的设定点中心坐标以及对于角位置δ、ε的设定点值并且将所述设定点值变换成对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的竖直设定点位置的设定点值，‑对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的电磁体指定致动力F1‑F4；‑对于所述每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）确定在每种情况下的当前竖直位置；‑测量每种情况下四个安装点（6a、6b、6c、6d；6e、6f、6g、6h）的当前竖直位置z且转换成实际中心坐标；‑将所述实际中心坐标与所述设定点中心坐标进行比较，确定偏差和通过指定校正的设定点值作为设定点中心坐标重复前述步骤，直到所述实际中心坐标与所述设定点中心坐标的所述偏差为零。