[发明专利]光照射装置无效
| 申请号： | 201280005511.1 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103328093A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 角波雅之 | 申请（专利权）人： | 株式会社杰士汤浅国际 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12;B05C9/12;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种光照射装置，在尽量抑制零件数量的增加的同时，能够精确地保持安装于光射出窗且使光源的射出光透过的透光板的光照射装置，其配置有具有开闭器(4a)的开闭器单元(4)，开闭器(4a)在允许光源(6)的射出光从光射出窗(10)向装置框体外射出的状态与阻止射出的状态之间切换，安装于光射出窗(10)且使光源(6)的射出光透过的透光板(11)被开闭器单元(4)限制位置。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 装置 | ||
【主权项】：
一种光照射装置，其具备：光源；将所述光源的射出光向装置框体外射出的光射出窗；安装于所述光射出窗且使所述光源的射出光透过的透光板；以及具有开闭器的开闭器单元，其在允许所述光源的射出光从所述光射出窗射出的状态和阻止从所述光射出窗射出的状态之间切换，所述透光板被所述开闭器单元限制位置。
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