[发明专利]固态成像装置和包括固态成像装置的成像系统

摘要

提供一种固态成像装置，其即使在像素尺寸较小时仍可以以高精度测距。该固态成像装置包括具有折射率不同的多个区域的光波导；以及光电转换单元，用于将被引导通过光波导的光转换为电信号。光波导包括位于光入射侧的主波导，以及与主波导连接并位于光电转换单元侧的第一副波导和第二副波导。主波导引导从第一方向进入的光和从第二方向进入的光。第一副波导和第二副波导分别引导已经从第一方向进入并且已经通过主波导的光和已经从第二方向进入并已经通过主波导的光。

主权项

一种固态成像装置，包括：第一像素，所述第一像素包括第一光电转换单元、第一主波导、以及第一副波导和第二副波导，所述第一主波导用于引导从第一方向进入的光和从不同于第一方向的第二方向进入的光，所述第一副波导和第二副波导中的每一个位于第一主波导的出射侧并被配置为耦合被引导通过第一主波导的光；以及第二像素，所述第二像素包括第二光电转换单元、第二主波导、以及第三副波导和第四副波导，所述第二主波导用于引导从所述第一方向进入的光和从所述第二方向进入的光，所述第三副波导和第四副波导中的每一个位于第二主波导的出射侧并被配置为耦合被引导通过第二主波导的光，其中，所述第一光电转换单元和第二光电转换单元被设置在基板中，其中所述第一副波导和第三副波导中的每一个被配置为使得其具有与从所述第一方向进入并被引导通过第一主波导和第二主波导中的对应一个的光耦合的波导模式，并且允许从所述第一方向进入的光相比于从所述第二方向进入的光以更大的量出射，其中所述第二副波导和第四副波导中的每一个被配置为使得其具有与从所述第二方向进入并被引导通过第一主波导和第二主波导中的对应一个的光耦合的波导模式，并且允许从所述第二方向进入的光相比于从所述第一方向进入的光以更大的量出射，其中传播通过第一副波导的光以比传播通过第二副波导的光更大的量被引入到第一光电转换单元中，并且其中传播通过第四副波导的光以比传播通过第三副波导的光更大的量被引入到第二光电转换单元中。