[发明专利]光致抗蚀剂用树脂组合物有效
| 申请号： | 201280006326.4 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103329042A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 今村裕治 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G8/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性，其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂，所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂，所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5‑二甲酚和2,3,5‑三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110‑220℃的温度下反应而得的。
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