[发明专利]驱动系统及驱动方法、曝光装置及曝光方法以及驱动系统设计方法

摘要

在相对于设置有对根据操作量被驱动的平板载台（PST）的位置（第1控制量）进行测量的干涉仪（18X）的平台（PTB）所表示共振模式表示反相的共振模式的滑架（30），设置对平板载台（PST）的位置（第2控制量）进行测量的干涉仪（18X1）。通过使用干涉仪（18X）以及干涉仪（18X1），能够设计驱动平板载台（PST）的高频带、鲁棒的驱动系统。

主权项

一种驱动系统，是赋予操作量来驱动控制对象的驱动系统，其特征在于，具备：第1测量仪，其对与在所述控制对象的第1部分设置的第1测量点的位置相关的第1控制量进行测量；第2测量仪，其对与在所述控制对象的第2部分设置的第2测量点的位置相关的第2控制量进行测量；以及控制部，其基于所述第1以及第2测量仪的测量结果和目标值进行控制运算来求出所述操作量，并将该操作量赋予给设于所述控制对象的操作点，在将所述控制对象的所述操作点至所述第1测量点作为刚体时出现的规定的振动状态下，所述第2部分处于与所述第1部分反相的关系。