[发明专利]自适应模式扫描探针显微镜

摘要

一种包括机械响应于驱动力的探针的扫描探针显微镜。信号产生器向产生驱动力的致动器提供驱动信号，该驱动信号例如用于促使致动器重复地朝向和远离样品移动探针。检测系统布置为输出指示从探针反射的光和高度参考束之间的路径差异的高度信号。图像处理装置布置为使用高度信号来形成样品的图像。信号处理装置布置为在探针接近样品时监控探针且检测探针与样品相互作用的表面位置。响应于表面位置的检测，信号处理装置提示信号产生器修改驱动信号。

主权项

一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜包括：探针，其机械地响应于驱动力；信号产生器，其用于向产生所述驱动力的致动器提供驱动信号，所述驱动信号用于促使所述致动器重复地朝向和远离样品移动所述探针；检测系统，其布置为输出指示从所述探针反射的光和高度参考束之间的路径差异的高度信号；图像处理装置，其布置为使用所述高度信号来形成所述样品的图像；以及信号处理装置，其布置为在所述探针接近样品时监控所述探针且检测所述探针与所述样品相互作用的表面位置；其中响应于所述表面位置的检测，所述信号处理装置提示所述信号产生器修改所述驱动信号。