[发明专利]摩擦电荷控制静电夹钳有效
| 申请号： | 201280007039.5 | 申请日： | 2012-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103339721A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 朱利安·G·布雷克;岱尔·K·史东;留德米拉·史东;大卫·E·苏若恩;大城茂雄 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明;张洋 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭示在卸除前更有效从衬底去除累积电荷的静电夹钳。目前，升降销与接地销是植入后用来从衬底去除电荷的唯一机制。本揭示描述一种静电夹盘，其在顶部介电表面中具有嵌入的导电区，例如在密封环中的环形导电区。因此，不论松开期间衬底的方向为何，衬底的至少一部分会包含在工件支撑件的介电层上的导电区。此导电区可通过使用介电层中的导电穿孔而接地。在一些实施例中，这些导电穿孔是用来将气体供应至衬底背面的流体导管。 | ||
| 搜索关键词： | 摩擦 电荷 控制 静电 夹钳 | ||
【主权项】：
一种处理衬底的夹钳，包括：顶层，其由非导电的材料制成，用于接触所述衬底；气体源；导管，其嵌入于所述夹钳中，用于将气体自所述气体源携至所述顶层，其中所述导管的侧壁是由导电材料制成；外部导电环形环，其围绕所述顶层；以及所述外部导电环形环与所述导管的所述侧壁之间的连接件，其中所述侧壁接地。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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