[发明专利]具有N-氨基脒基配体的金属络合物

摘要

本发明涉及新颖的具有N-氨基脒基配体的金属络合物，更具体地涉及具有N,N’-双(二甲氨基)乙脒基、N,N’-双(二甲氨基)甲脒基、N-二甲氨基乙脒基或N-二甲氨基-N’-异丙基-乙脒基配体的金属络合物，以及它们的制备及用途。这些金属络合物的特征为五元螯合环。这些金属络合物是使用来自PTE的主族金属、而且还与过渡族元素例如钽（Ta）、铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）、铜（Cu)）或锌（Zn），并且还与贵金属如钯（Pd）形成的。本发明的络合物作为前体被用于通过气相薄膜方法如CVD、MO-CVD和ALD来制备功能层。另外它们可以用作烯烃氢胺化和烯烃聚合的催化剂。

主权项

1.具有至少一个N-氨基脒基配体的金属络合物，其中这些金属络合物具有根据通式1的结构其中M是一种选自元素周期表（PTE）的第1至15族中的金属，R¹是氢或一个具有高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基，或一个具有高达20个C原子的取代的或未取代的芳基，R²和R³彼此独立地是氢、CH₃或C₂H₅，R⁴是氢、CH₃、NH₂、N(CH₃)₂或N(C₂H₅)₂，X是一个单阴离子的共配体，该共配体选自氢化物阴离子（H^-），选自卤化物的组，选自具有高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基化物基团的组，选自具有高达10个C原子的取代的或未取代的芳基化物和杂芳基化物基团的组，选自烷氧基化物配体的组，选自烷硫基化物或烷硒基化物配体的组或选自仲酰氨基配体的组，Y是选自氧基[O]^2-或亚胺基[NR⁵]^2-的一个二价阴离子的共配体，其中R⁵是具有高达8个C原子的环状、直链或支链的烷基、或一个具有高达20个C原子的取代的或未取代的芳基，L是一种中性的2-电子供体配体，a是1与4之间的一个整数，并且n、m、以及p彼此独立地是0、1、2、3、或4。