[发明专利]基板输送辊、薄膜制造装置以及薄膜制造方法无效
| 申请号： | 201280009593.7 | 申请日： | 2012-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103380231A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 本田和义;冈崎祯之;天羽则晶;内田纪幸;末次大辅 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;徐健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基板输送辊6A构成为在真空中输送基板，具有第1壳体11、内块12以及轴10。第1壳体11具有用于支撑基板的圆筒形的外周面，能与基板同步地旋转。内块12配置在第1壳体11的内部，被禁止与基板同步地旋转。轴10贯通并且支撑内块12。在第1壳体11的内周面与内块12之间形成有间隙部15。在间隙部15，从内块12向第1壳体11的所述内周面导入气体。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 薄膜 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种基板输送辊，在真空中输送基板，具有：圆筒状的第1壳体，其具有用于支撑所述基板的圆筒形的外周面，能与所述基板同步地旋转；内块，其配置在所述第1壳体的内部，被禁止与所述基板同步地旋转；和轴，其贯通并且支撑所述内块，在所述第1壳体的内周面与所述内块之间形成有间隙部，在所述间隙部，从所述内块向所述第1壳体的所述内周面导入气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280009593.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
