[发明专利]用于制备薄膜型太阳能电池的组合式连续电沉积设备

摘要

一种用于制备薄膜型太阳能电池的组合式连续电沉积设备，在一个模块化电沉积单元中的电镀池的长度可以很容易地被改变以满足在一次卷对卷过程中所要求的不同电流密度。此外，电解质溶液箱体能够被简单地从电镀模块中连接或拆卸并四处移动。利用这些设计，覆有不同金属、金属合金和半导体的多层膜能用这条生产线或设备通过电镀的方法沉积出来并具备容易改变不同材料的电镀次序的灵活性。这套设备在一个连续的卷对卷过程中于柔性导电基板上制备诸如CIGS 和 CdTe 这类的IB‑IIIA‑VIA和IIB‑VIA元素族的薄膜型太阳能电池是尤其有用的。

主权项

一种电沉积设备，其特征在于：包括：一个以上可被用于通过卷对卷过程沉积一层以上金属、金属合金和／或半导体于柔性基板之上的模块化电沉积单元，其中，每个模块化电沉积单元包括一个以上的长度可变的电镀池以满足不同电流密度的要求，其中每个电镀池的长度从0.1到2米，宽度从0.1到2米；以及，每个模块化电沉积单元包括一个以上的可移动电解质溶液储存箱，其中，每个储存箱安装有两个以上的轮子；其中，电镀池处于可移动电解质溶液储存箱的上方；及其中，所述电镀池与所述可移动电解质溶液储存箱通过快速联接耦合接口联接或断开。