[发明专利]从液体中选择性去除溶解的气体的系统有效
申请号: | 201280013230.0 | 申请日: | 2012-03-15 |
公开(公告)号: | CN103442779A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | U·布拉默;J·塞沃特;C·戈茨查克 | 申请(专利权)人: | MKS仪器股份有限公司 |
主分类号: | B01D19/00 | 分类号: | B01D19/00;C02F1/20 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张静 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种从液体中选择性地清除溶解的气体的系统,所述系统能够包括具有两个第一接触器入口和两个第一接触器出口的第一接触器。第一接触器能与液体源在第一接触器的第一入口流体连通,并与惰性气体源在第一接触器的第二入口流体连通。第一接触器的第二入口能接受惰性气体,所述惰性气体从液体源中清除第一部分的气体。第一部分的清除的气体能从第一接触器的第一出口排出第一接触器。所述系统也能包括含有两个第二接触器入口和两个第二接触器出口的第二接触器。第二接触器能与第一接触器的第二出口流体连通,并与惰性气体在第二接触器的第二入口源流体连通。第二接触器的第二入口能接受惰性气体,所述惰性气体从液体源中清除第二部分的气体。第二部分的清除的气体能从第二接触器的第一出口排出第二接触器。 | ||
搜索关键词: | 液体 选择性 去除 溶解 气体 系统 | ||
【主权项】:
一种从液体中选择性地清除溶解的气体的系统,所述系统包括:包括两个第一接触器入口和两个第一接触器出口的第一接触器,所述第一接触器与液体源在第一接触器的第一入口流体连通,并与惰性气体源在第一接触器的第二入口流体连通,所述第一接触器的第二入口接受惰性气体,所述惰性气体从液体源中清除第一部分的气体,所述第一部分的被清除的气体从第一接触器的第一出口排出第一接触器;以及包括两个第二接触器入口和两个第二接触器出口的第二接触器,所述第二接触器与第一接触器的第二出口流体连通,并与惰性气体源在第二接触器的第二入口流体连通,所述第二接触器的第二入口接受惰性气体,所述惰性气体从液体源中清除第二部分的气体,所述第二部分的被清除的气体从第二接触器的第一出口排出第二接触器。
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