[发明专利]陶瓷压力测量单元及其制造方法有效
| 申请号： | 201280013585.X | 申请日： | 2012-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN103502787A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 武尔费特·德鲁斯;安德烈亚斯·罗斯贝格;埃尔克·施密特;安德烈·贝林格尔;拉尔夫·尤林 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;C04B37/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;穆德骏 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造压力传感器1的方法，该压力传感器包括陶瓷主体2和陶瓷测量膜3，其中，利用活性硬焊料4使测量膜与主体压力密闭地接合，其中，该方法包括：提供主体2和测量膜3和活性硬焊料4；将活性硬焊料定位在主体与测量膜之间；利用激光器10通过辐照活性硬焊料来熔化活性硬焊料，其中，穿过测量膜辐照活性硬焊料；以及通过冷却使活性硬焊料硬化。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 压力 测量 单元 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造压力测量单元的方法，所述压力测量单元具有陶瓷平台和陶瓷测量膜，其中，利用活性硬焊料或铜焊使所述测量膜与所述平台压力密闭地接合，其中，所述方法包括：提供所述平台、所述测量膜和所述活性硬焊料或铜焊；将所述活性硬焊料或铜焊定位在所述平台与所述测量膜之间；利用激光器辐照所述活性硬焊料或铜焊来熔化所述活性硬焊料或铜焊，其中，穿过所述测量膜辐照所述活性硬焊料或铜焊；以及通过冷却使所述活性硬焊料或铜焊凝固。
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