[发明专利]具有至衬底的受抑声耦合的超声波CMUT有效
| 申请号： | 201280014348.5 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN103501922A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | J·D·弗雷泽 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;G10K11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张伟;王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在衬底上的分别隔离的重板上形成cMUT单元的阵列。每一板的质量提供对抗所述单元的发射产生的力和运动，这减小在所述板中生成的运动转化。这一运动的减小实现较少声能耦合到衬底内，以及较少的通过横向波对相邻cMUT单元的信号的污染。还可以通过在所述衬底上对所述重板进行柔顺或稀疏的周期性安装而进一步减弱不希望的向衬底内的波耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 衬底 受抑声 耦合 超声波 cmut | ||
【主权项】：
一种超声波换能器的cMUT单元的阵列，每一单元包括：单元膜片；膜片支撑结构；耦合至所述单元膜片的顶部电极；提供空间的间隙，所述单元膜片在所述空间中移动；与所述顶部电极协同使用的底部电极；重板，在所述重板上安装所述单元膜片、所述膜片支撑结构、所述电极和所述间隙，所述重板具有基本上对抗所述cMUT在发射期间产生的声压力的惯性力；以及衬底，在所述衬底上安装所述重板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦有限公司，未经皇家飞利浦有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280014348.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
