[发明专利]负型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201280015046.X | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103443708A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 畑中真;服部隼人;内山芽育 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08F220/32;C08F222/40;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供即使为低粘度的溶液也能够厚膜化，且在曝光前也没有粘性，通过碱性显影可以以高析像度形成图案，制成的涂膜的透明性高，在后烘烤后收缩也小的负型感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的手段涉及含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分的感光性树脂组合物。(A)成分：由至少包含(i)马来酰亚胺和(ii)具有环氧基的单体的单体混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物，(B)成分：光产酸剂，(C)成分：具有2个以上环氧基的化合物，(D)成分：溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分，(A)成分：由至少包含(i)马来酰亚胺和(ii)具有环氧基的单体的单体混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物，(B)成分：光产酸剂，(C)成分：具有2个以上环氧基的化合物，(D)成分：溶剂。
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