[发明专利]加强的微机电系统装置及其制造方法无效
| 申请号： | 201280015633.9 | 申请日： | 2012-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN103459304A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | C·W·布莱克梅;S·G·阿达姆斯;A·S·霍金;K·J·林奇;A·A·沙哈 | 申请（专利权）人： | 凯奥尼克公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01L21/762 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一个实施例中，一种微机电装置可以包括衬底、梁和绝缘接合部。梁能够相对于衬底的表面悬置。绝缘接合部可以位于梁的第一部分和第二部分之间，并且能够具有非直线形形状。在另一个实施例中，微机电装置可以包括衬底、梁和绝缘接合部。梁可以相对于衬底的表面悬置。绝缘接合部可以位于梁的第一部分和第二部分之间。绝缘接合部可以具有第一部分、第二部分和位于第一部分和第二部分之间的桥接部分。绝缘接合部的第一部分和第二部分中的每一个均可以具有缝隙和空隙，而桥接部分可以是实心的。 | ||
| 搜索关键词： | 加强 微机 系统 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，所述微机电装置包括：衬底；梁，所述梁相对于所述衬底的表面悬置，所述梁包括第一梁部分和第二梁部分；和位于所述第一梁部分和所述第二梁部分之间的绝缘接合部，所述绝缘接合部具有非直线形形状。
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