[发明专利]高性能感应等离子体焰炬

摘要

一种感应等离子体焰炬，包括管状焰炬体；等离子体限制管，布置在管状焰炬体中，与管状焰炬体同轴；气体分配器头，布置在等离子体限制管的一端，并构造成将至少一种气体物质供应进等离子体限制管中；感应耦合构件，用于对气体物质施加能量，以在等离子体限制管中产生并维持等离子体；电容屏蔽层，包括被施加到等离子体限制管的外表面上或管状焰炬体的内表面上的传导材料薄膜。传导材料薄膜被分割为轴向条，轴向条在一端互相连接。传导材料薄膜的厚度小于根据供应给感应耦合构件的电流的频率和薄膜传导材料的电导率计算出的趋肤深度。可在等离子体的外表面或管状焰炬体的内表面中机加工轴向沟槽，轴向沟槽插入轴向条之间。

主权项

一种用在感应等离子体焰炬中的等离子体限制管，所述等离子体限制管由呈现高导热性和高电阻率的材料制成，限定出几何轴线和外表面，并包括：电容屏蔽层，包括被施加到所述等离子体限制管的外表面上并被分割为轴向条的电传导材料薄膜，所述轴向条在一端互相连接；以及轴向沟槽，通过呈现高导热性和高电阻率的材料位于所述等离子体限制管的外表面中，所述轴向沟槽之一插入每对横向相邻的轴向条之间；其中，轴向沟槽减小了等离子体限制管的厚度，并扩大了等离子体限制管的外表面在轴向条之间的传热表面面积，以通过传热表面面积来改进热交换，并且其中，等离子体限制管的呈现高导热性和高电阻率的材料中的轴向沟槽提高了电传导材料薄膜的轴向条之间的绝缘。