[发明专利]具有间隙控制几何形状的声换能器以及声换能器制造方法有效
| 申请号： | 201280016220.2 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN103460721B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·格罗什;罗伯特·约翰·利特尔 | 申请（专利权）人： | 韦斯伯技术公司 |
| 主分类号： | H04R25/00 | 分类号： | H04R25/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 优选实施方案的换能器包括衬底和多个相邻的锥形悬臂梁。每个梁界定了梁基部、梁尖部以及设置在梁基部和梁尖部之间的梁主体。梁被布置成使得每个梁尖部朝向共同区域延伸。每个梁沿着梁基部接合至衬底并且沿着梁主体与衬底分离。制造换能器的优选方法可包括在方框中将交替的压电层和电极层沉积在衬底上，在方框中处理沉积层以界定悬臂几何形状，在方框中沉积金属迹线，以及在方框中从衬底释放悬臂梁。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 间隙 控制 几何 形状 声换能器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS换能器，包括：衬底；以及至少三个渐缩换能器梁，每个渐缩换能器梁均包括用于将施加的压力转换成电压的压电层和夹置所述压电层的一对电极层，所述渐缩换能器梁均具有梁基部、梁端部和梁主体，其中，所述梁主体从所述梁基部到所述梁端部逐渐变细并设置在所述梁基部和所述梁端部之间，所述渐缩换能器梁通过具有附接至所述衬底的所述梁基部、朝向单个点会聚的所述梁端部而在所述衬底之上连接成悬臂布置，并且同时每个梁主体与所述衬底分离并且每个梁端部不受约束且未被附接。
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