[发明专利]放电灯有效
| 申请号： | 201280016296.5 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103460137A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 藤森昭芳;金井信夫;藤原和正;上条圭;南云阳佑 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J1/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 曝光装置具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据光测量单元中的测量值，调整向放电灯供给的功率。并且，光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。 | ||
| 搜索关键词： | 电灯 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，其特征在于，具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从所述放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据所述光测量单元中的测量值，调整向所述放电灯供给的功率，所述光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。
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