[发明专利]III族氮化物结晶的制造方法和III族氮化物结晶无效
| 申请号： | 201280018140.0 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN103502514A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 松本创;洲崎训任;藤户健史;长尾哲 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;张志楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供加工性优异的高品质III族氮化物结晶。通过将III族氮化物单晶在1000℃以上进行热处理，形成含有含III族元素的氧化物、氢氧化物和/或羟基氧化物的覆膜；将该覆膜除去；从而制造出III族氮化物结晶。 | ||
| 搜索关键词： | iii 氮化物 结晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种III族氮化物结晶的制造方法，其特征在于，该制造方法包括下述工序(1)和工序(2)：(1)覆膜形成工序，在该工序中，通过将III族氮化物单晶在1000℃以上进行热处理而形成含有含III族元素的氧化物、氢氧化物和/或羟基氧化物的覆膜；(2)覆膜除去工序，在该工序中，将该覆膜除去。
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