[发明专利]通过高沸点的氯硅烷或含氯硅烷的混合物制备氯硅烷的方法有效
申请号: | 201280018504.5 | 申请日: | 2012-02-28 |
公开(公告)号: | CN103517874B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | E·米;H·劳莱德;R·肖尔克 | 申请(专利权)人: | 赢创德固赛有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 石克虎;林森 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种制备通式H4‑nSiCln的氯硅烷的方法,其中n=1、2、3和/或4,其特征在于,在反应器中,硅床中的硅与Cl2或HCl和至少一种含硅的化合物进行反应。 | ||
搜索关键词: | 通过 沸点 硅烷 混合物 制备 方法 | ||
【主权项】:
制备通式H4‑nSiCln的氯硅烷的方法,其中n = 1、2、3和/或4,其特征在于,在至少一个含硅的反应器中,具有至少96 %Si含量的硅床中的硅与Cl2或HCl和至少一种含硅的化合物进行反应,其中使用固定床反应器,其中反应器调节到反应器中心的温度为800 °C至1300 °C,其中根据上述方法制得的氯硅烷处于与高沸物一起形成的混合物中,含有:10至20重量% HSiCl3或80至90%重量% SiCl4和0.1至3重量%二氯硅烷,和0.1至3重量%高沸物。
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