[发明专利]利用AFM摩擦力映射的石墨烯区域测量系统及其方法

摘要

本发明涉及这样的利用AFM摩擦力映射的石墨烯区域测量系统及其方法：使石墨烯样品顺时针旋转的同时进行测量，使得最初测量位置到最终测量位置的旋转角为180°以上，在旋转石墨烯样品期间最少5次测量相同的石墨烯样品，从而分析获得的摩擦力映射图像的明暗差与AFM针尖的行进方向和石墨烯的褶皱方向有关，并获知石墨烯的褶皱方向。为了达到上述目的，本发明包括下列步骤：测量部使用设定为摩擦力模式（Friction Mode）的AFM显微镜测量石墨烯样品；输出部输出摩擦力映射图像，将对比（contrast）范围调整为最小范围以匹配石墨烯样品周边；输出部输出关于横切摩擦力映射图像而获得的特定部分的摩擦力曲线图；利用摩擦力曲线图分析AFM针尖行进方向和石墨烯的褶皱方向的关系；及判断部利用分析出的信息，通过摩擦力映射图像，利用各区域间对比的明暗差，判断石墨烯的褶皱方向。

主权项

一种利用AFM摩擦力映射的石墨烯区域测量系统，其为使用AFM显微镜的石墨烯区域测量系统，其特征在于，包括：测量部（100），所述测量部利用设定为高度测量模式（Topography Mode）和摩擦力模式（Friction Mode）的AFM显微镜测量石墨烯样品（12）；输出部（200），所述输出部输出测量的石墨烯样品（12）的区域，输出所述石墨烯样品（12）的摩擦力映射图像，接收用户的输入信号，从而输出关于横切所述摩擦力映射图像而获得的特定部分的摩擦力曲线图；分析部（300），所述分析部利用所述摩擦力曲线图分析所述AFM针尖（11）的行进方向和所述石墨烯的褶皱方向的关系；以及判断部（400），所述判断部利用所述分析部（300）中分析的信息，通过所述摩擦力映射图像判断石墨烯的褶皱方向。