[发明专利]热线式原子层沉积设备及其使用方法

摘要

本发明提供用于原子层沉积设备的气体分配板，该等气体分配板包括热线或热线单元，该热线或热线单元可经加热以在处理基板时激发气体物种。本发明亦描述使用热线激发气体前体物种来处理基板的方法。

主权项

一种气体分配板，所述气体分配板包含：一输入面，所述输入面包含一第一前体气体输入端及一第二前体气体输入端，所述第一前体气体输入端经配置以接收一第一前体气体的一流，所述第二前体气体输入端经配置以接收一第二前体气体的一流；一输出面，所述输出面具有多个狭长的气体端口，所述多个狭长的气体端口经配置以将气流导向邻近所述输出面的一基板，所述狭长的气体端口包括至少一个第一前体气体端口及至少一个第二前体气体端口，所述至少一个第一前体气体端口与所述第一前体气体流动连通，且所述至少一个第二前体气体端口与所述第二前体气体流动连通；及一线，所述线定位于所述第一前体气体端口及所述第二前体气体端口中的至少一者内，所述线连接至一电源，以加热所述线。