[发明专利]缺陷分类方法以及缺陷分类系统

摘要

在自动缺陷分类功能中，由于对于每个装置适当的处理参数不同，因此需要按照每个缺陷观察装置来设定分类制程程序。在相同工序中运用多个装置的情况下，需要分类制程程序内的分类类相同。在重新制作分类制程程序等时候存在对于每个装置在分类类中产生差异这种问题。缺陷分类系统具备：保存分类制程程序的(214)；信息确定部(210)，其确定分类制程程序以及所保存的图像的工序、装置信息；对应缺陷确定部(209)，其从在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像中确定相同种类的缺陷图像；图像变换部(212)，其对在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像进行变换，变换为能够比较的类似的图像；以及制程程序更新部(211)，其将确定出的相同种类的缺陷图像登记到各自对应的分类制程程序内的分类类中。

主权项

一种缺陷分类方法，使用拍摄试样的装置以及与制造上述试样的工序对应的分类制程程序来分类缺陷图像，其特征在于，该缺陷分类方法具有以下步骤：通过与第一图像拍摄装置的分类制程程序相同的工序对应的第二图像拍摄装置的分类制程程序，来定义与以上述第一图像拍摄装置的分类制程程序定义的分类类相同的分类类；从由上述第二图像拍摄装置拍摄得到的缺陷图像中，确定与登记到以上述第一图像拍摄装置的分类制程程序定义的分类类中的示教图像相同种类的缺陷图像；以及将上述确定出的缺陷图像登记到以上述第二图像拍摄装置的分类制程程序定义的分类类中的、与登记了上述示教图像的上述第一图像拍摄装置的分类类相同的分类类中。