[发明专利]感光性树脂组合物、使用了该树脂组合物的图案固化膜的制造方法以及电子部件有效
| 申请号： | 201280021079.5 | 申请日： | 2012-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103502889B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 峰岸知典;加藤木茂树 | 申请（专利权）人： | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/085 | 分类号： | G03F7/085;C08G73/22;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/40 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 王灵菇,白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种感光性树脂组合物，其含有（a）聚苯并噁唑前体、（b）感光剂、（c）溶剂、（d）交联剂、和（e）在分子内具有羟基、烷氧基或羧基的杂环状化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 图案 固化 制造 方法 以及 电子 部件 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：(a)聚苯并噁唑前体、(b)感光剂、(c)溶剂、(d)交联剂、和(e)选自由下述通式(II)～(VIII)表示的化合物中的一种以上的化合物，通式(II)～(VIII)中，X分别独立地为羟基、碳原子数为1～6的烷氧基或羧基；Y为单键或选自‑O‑、‑SO2‑、其他2价的有机基团中的基团；R分别独立地为碳原子数为1～10的烷基；n为R基团的个数，在通式(III)以及(IV)中表示0～4的整数，在通式(V)、(VI)、(VII)以及(VIII)中表示0～3的整数。
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