[发明专利]静电透镜及包括该静电透镜的系统无效

专利信息
申请号: 201280021727.7 申请日: 2012-03-02
公开(公告)号: CN103858201A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: D.G.维尔基 申请(专利权)人: 珀金埃尔默健康科学股份有限公司
主分类号: H01J3/20 分类号: H01J3/20;H01J3/18
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 匡霖
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种系统包括放置在带电粒子源和检测器之间的静电透镜。该透镜包括:第一电极,具有放置在路径中并与第一轴线对齐的第一孔径;第二电极,在第一电极和带电粒子检测器之间的路径中,第二电极具有放置在路径中并与第二轴线对齐的第二孔径,第二轴线平行于第一轴线,并沿第一方向从第一轴线移位;第三电极,在第一电极和第二电极之间;以及耦合到第一、第二和第三电极的电位生成器。在工作期间,电位生成器将第一、第二和第三电位分别施加到第一、第二和第三电极,以使得静电透镜将沿第一轴线传播的来自带电粒子源的带电粒子束引导到沿第二轴线传播。
搜索关键词: 静电透镜 包括 系统
【主权项】:
一种系统,包括:静电透镜,放置在带电粒子源和带电粒子检测器之间的路径中;所述静电透镜包括:第一电极,具有放置在路径中并与第一轴线对齐的第一孔径;第二电极,放置在第一电极和带电粒子检测器之间的路径中,第二电极具有放置在路径中并与第二轴线对齐的第二孔径,第二轴线平行于第一轴线,并沿第一方向从第一轴线移位;第三电极,放置在第一电极和第二电极之间的路径中;以及电位生成器,耦合到所述第一电极、第二电极和第三电极,其中在工作期间,所述电位生成器将第一电位施加到第一电极,将第二电位施加到第二电极,并将第三电位施加到第三电极,以使得静电透镜将沿第一轴线传播的来自带电粒子源的带电粒子束引导到沿第二轴线传播。
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