[发明专利]用于磁轴承的转子的永磁铁阵列和组装该阵列的方法有效

专利信息
申请号: 201280021991.0 申请日: 2012-05-04
公开(公告)号: CN103635704B 公开(公告)日: 2018-05-25
发明(设计)人: B.D.布鲁斯特;A.韦 申请(专利权)人: 爱德华兹有限公司
主分类号: F16C32/04 分类号: F16C32/04;G01R33/12;H01F7/02;H01F41/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 姚李英;傅永霄
地址: 英国西萨*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 当用于涡轮分子泵中时,由磁轴承组件的旋转磁铁阵列中的永磁铁的非对称的磁化产生的杂散磁场可引起装置(如,扫描电子显微镜)的重大问题。为了最大限度地减少杂散场,首先要至少测量阵列中的各个磁铁的偶极矩和四极矩。然后,相对于彼此布置阵列中的磁铁,使得偶极矩和四极矩两者都最大限度地减少,从而使涡轮分子泵中的磁铁阵列旋转时的杂散磁场最大限度地减少。
搜索关键词: 涡轮分子泵 杂散磁场 磁轴承 偶极矩 磁铁 四极 扫描电子显微镜 磁化 永磁铁阵列 转子 测量阵列 磁铁阵列 旋转磁铁 重大问题 非对称 永磁铁 杂散场 组装
【主权项】:
1.一种组装磁轴承装置的可旋转的永磁铁阵列的方法,所述旋转阵列包括至少四个永久环形磁铁,所述方法包括以下步骤:相对于所述环形磁铁上的基准点测量所述至少四个环形磁铁中的各个磁铁的至少一阶横向杂散磁场矢量和二阶横向杂散磁场矢量;计算所述阵列内的各个磁铁的相对角定向和相对磁极性方向,使得在组装和旋转所述至少四个磁铁时,最大限度地减小时变磁场;以及根据所述计算结果组装所述磁铁阵列。
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