[发明专利]基底处理工具

摘要

一种基底处理设备包括框架、连接到框架上的第一SCARA臂，其包括构造成沿第一径向轴线延伸和收缩的末端执行器；连接到框架上的第二SCARA臂，其包括构造成沿第二径向轴线延伸和收缩的末端执行器，SCARA臂具有公共肩部旋转轴线；以及联接到SCARA臂上的驱动区段构造成使各个SCARA臂沿相应的径向轴线独立地延伸，且使各个SCARA臂围绕公共肩部旋转轴线旋转，其中第一径向轴线相对于第二径向轴线成角，且相应的臂的末端执行器与相应的径向轴线对准，其中各个末端执行器构造成用以保持至少一个基底，且末端执行器位于公共传递平面上。

主权项

一种基底处理设备，包括： 框架；连接到所述框架上的第一SCARA臂，所述第一SCARA臂包括末端执行器且构造成用以沿第一径向轴线延伸和收缩；连接到所述框架上的第二SCARA臂，所述第二SCARA臂包括末端执行器且构造成沿第二径向轴线延伸和收缩，所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂具有公共的肩部旋转轴线；以及联接到所述第一臂和所述第二臂上的驱动区段，所述驱动区段构造成使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个沿相应的径向轴线独立地延伸，且使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个围绕所述公共肩部旋转轴线旋转，其中所述第一径向轴线相对于所述第二径向轴线成角，且相应的臂的所述末端执行器与相应的径向轴线对准；其中各个末端执行器构造成用以保持至少一个基底，且所述末端执行器位于公共传递平面上。