[发明专利]图案打磨机装置、系统和方法

摘要

本发明涉及一种用于将预定压痕打磨到工件中的装置。所述装置具有位于由打磨带形成的区域内侧的图案带。垫片位于由图案带形成的区域内侧。在图案带的外表面上形成凸出图案。在使用中，垫片接触图案带，从而迫使图案带的凸出图案接触打磨带。打磨带中接触图案带的部分被迫朝向工件，使得预定压痕被打磨到工件中。

主权项

一种用于在工件中形成预定压痕的装置，其包括：打磨带，其具有被构造为磨削所述工件的至少一部分的粗砂，其中所述打磨带是可选择性地绕打磨带区域旋转的环状打磨带；位于所述打磨带区域中的图案带，其中所述图案带具有形成于所述图案带的外表面的至少一部分上的预定凸出图案，且其中所述图案带是可选择性地绕图案带区域旋转的环状图案带；和位于所述图案带区域中的垫片，其中所述垫片是可选择性地绕凸出位置和凹陷位置移动并可选择性地在所述凸出位置与所述凹陷位置之间移动，在所述凸出位置中，所述垫片距所述图案带一第一距离，在所述凹陷位置中，所述垫片距所述图案带小于所述第一距离的一第二距离，其中在所述凹陷位置中，所述垫片的打磨表面施加力于所述图案带的部分上，从而迫使所述图案带的至少所述预定凸出图案接触所述打磨带的部分，且其中所述打磨带的所述部分接触所述工件并在其中磨削所述图案带的至少预定凸出图案的压痕。