[发明专利]压电元件用下部电极及具备它的压电元件有效
| 申请号： | 201280025098.5 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103548164A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 涩谷和树 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/08;H01L41/29;H01L41/319 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过对构成用于压电元件的下部电极的Pt层全部同时规定摇摆曲线的半宽度、表面的平均粗糙度、以及平均粒径，从而将特性良好的Pt层稳定成膜，在该Pt层上将特性良好的压电薄膜稳定成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 下部 电极 具备 | ||
【主权项】：
一种压电元件用下部电极，其特征在于，是形成于基板上的成为压电薄膜的下部电极的压电元件用下部电极，该下部电极由Pt层构成，在所述Pt层中，X射线衍射中的Pt的（111）面的摇摆曲线的半宽度为2.2°以下，表面的粗糙度满足均方根粗糙度RMS为1.0nm以下和算术平均粗糙度Ra为0.8nm以下中的至少一方，Pt的平均粒径为200nm以上。
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