[发明专利]成像光学单元有效
| 申请号： | 201280026502.0 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103635859A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | A.沃尔夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 种成像光学单元（50），用于将物场（4）成像至像场（8）中。物场（4）和像场（8）之间的成像光路（AS）被细分为多个部分成像光路（TAS）。成像光学单元（50）实施为使得部分成像光路（TAS）以彼此完全分离且由成像光学单元（50）的光学组件（M1至M6）引导的方式在物场（4）和像场（8）之间延伸，即，在物场（4）和像场（8）之间的光路中的任何位置，部分成像光路（TAS）都不会照在成像光学单元（50）的光束引导表面（20）的相同区域上。这导致分辨能力，尤其是微结构或纳米结构半导体组件的产量增加的成像光学单元。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 光学 单元 | ||
【主权项】：
一种用于将物场（4）成像至像场（8）中的成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59），‑其中，位于所述物场（4）和所述像场（8）之间的成像光路（27；AS）被细分为多个部分成像光路（22，23；TAS），‑其中，所述成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59）实施为使得所述部分成像光路（22，23；TAS）以彼此完全分离且由所述成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59）的光学组件（18，19；M1至M6；G1，M1至M6）引导的方式在所述物场（4）和所述像场（8）之间延伸，即，在所述物场（4）和所述像场（8）之间的光路中的任何位置，所述部分成像光路（22，23；TAS）都不会照在所述成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59）的光束引导表面（20）的相同区域上。
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