[发明专利]利用动态束成形进行改善均匀度控制的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于当离子束在工件(304)的表面上扫描时改变离子束的横截面形状(308a、308b、308c)以产生具有改善的离子束电流轮廓均匀度的时间平均离子束的方法和装置。在一个实施例中，当离子束在工件的表面上移动时，改变离子束的横截面形状。离子束的不同横截面形状分别具有不同的束轮廓(例如，在沿着束轮廓的不同位置处具有峰值)，使得快速地改变离子束的横截面形状导致平滑工件所受到的束电流轮廓(例如，减少与单独的束轮廓相关联的峰值)。由此产生的平滑束电流轮廓提供改善的束电流均匀度以及改善的工件剂量均匀度。

主权项

一种离子注入系统，包括：束线，配置为将离子束导向终端站，所述终端站配置为支托一个或多个工件；扫描系统，配置为沿快速扫描方向和慢速扫描方向使所述离子束在所述工件上扫描；以及束聚焦装置，配置为在注入期间所述离子束在所述工件的表面上移动时以时变的方式改变所述离子束的束电流密度，以获得分别具有不同束电流轮廓的多个不同离子束电流密度。