[发明专利]具有紧凑型扫描器的扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 201280026601.9 | 申请日： | 2012-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN103562732B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 恩吉·方;杰夫·马卡基斯;约翰尼斯·金特;卡尔·马瑟 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q70/00 | 分类号： | G01Q70/00;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 苗迎华,康建峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于包括头部的扫描探针显微镜(SPM)的扫描器，具有扫描器本体，所述扫描器本体容纳致动器和检测扫描器移动的传感器。该扫描器本体能够通过手并在不使用工具的情况下从该头部移除，并且具有小于大约5立方英寸的总体积。做出规定以确保耦合到扫描器的探针装置的移动被限制成基本上仅在预期方向上。该扫描器的基础谐振频率可以大于10kHz。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 紧凑型 扫描器 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
一种用于包括头部的扫描探针显微镜(SPM)的扫描器，所述扫描器包括：扫描器本体，所述扫描器本体容纳致动器和传感器，所述传感器检测扫描器移动；并且其中，所述扫描器本体能够通过手且在不使用工具的情况下从所述头部移除，并且所述扫描器本体具有小于5立方英寸的总体积；其中，所述扫描器本体具有a)第一开放端，所述第一开放端用于将所述扫描器耦合到所述扫描探针显微镜的头部的自由端部，所述自由端部具有外表面并且朝向样品延伸，以及b)第二封闭端，所述第二封闭端支承探针保持件，并且其中，所述本体具有在所述第一开放端与所述第二封闭端之间延伸的内表面，并且其中，所述外表面和所述内表面成类似的锥形以便彼此配对；以及其中，所述内表面包括环状棘爪以容置设置在所述外表面中的凹槽中的密封元件并在所述自由端部与所述扫描器之间提供密封接合。
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