[发明专利]流体压印装置以及压印方法有效
| 申请号： | 201280027116.3 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103717376A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 河口宏辅;田村裕宣;田中觉 | 申请（专利权）人： | SCIVAX股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;G11B5/84;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 梁海莲;余明伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够切实地除去模具与被成型物之间的气体的压印装置以及压印方法。用于将模具（100）的成型图案转印到被成型物（200）的压印装置包括：加压部（5），其具有用于利用流体对模具（100）与被成型物（200）加压的加压室（51）；载物台（2），其支撑受到加压部（5）的压力的模具（100）以及被成型物（200）；加压机构（6），其用于调节加压室（51）内的流体的压力；减压部（9），其具有用于对模具（100）与被成型物（200）的周围环境进行减压的减压室（91）；以及分离机构（7），其用于在减压室91内将模具（100）与被成型物（200）分离。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 压印 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种用于将模具的成型图案转印到被成型物的压印装置，其特征在于，该压印装置包括：加压部，其具有加压室，该加压室用于通过流体对所述模具与所述被成型物进行加压；载物台，其用于支撑受到所述加压部的压力的所述模具以及所述被成型物；加压机构，其用于调节所述加压室内的流体的压力；减压部，其具有用于对所述模具与所述被成型物的周围环境进行减压的减压室；以及分离机构，其用于在所述减压室内使所述模具与所述被成型物之间分离。
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