[发明专利]无转换层的真空泵组件无效
申请号: | 201280028749.6 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN103620091A | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 迈克尔·弗罗茨海姆;约瑟夫·赫珀考森;安迪·蓬托特伦;卢茨·胡泽曼 | 申请(专利权)人: | 欧瑞康莱宝真空股份有限公司;德国汉高股份两合公司 |
主分类号: | C25D9/06 | 分类号: | C25D9/06 |
代理公司: | 广州致信伟盛知识产权代理有限公司 44253 | 代理人: | 伍嘉陵 |
地址: | 德国科隆*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种由阀金属和它们的合金制成的无转换层的真空泵组件。 | ||
搜索关键词: | 转换 真空泵 组件 | ||
【主权项】:
1.无转换层的真空泵组件,由阀金属或它们的合金制成,其特征在于,它们的表面具有至少一种选自硼,锗,铝,镁,钛,铌,铪和/或锆元素及它们的混合物的氧化物和/或氟氧化物的涂层,通过电镀生产且具有的涂层厚度在550μm的范围内。
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