[发明专利]光化射线或辐射敏感树脂组合物，由其制备的光化射线或辐射敏感膜和形成图案的方法有效
| 申请号： | 201280028773.X | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103608728B | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 稻崎毅;川端健志;土村智孝 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F8/00;C08F212/14;C08F220/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 牛海军 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 根据一个实施方案，一种光化射线或辐射敏感树脂组合物包含化合物(P)，所述化合物(P)含有至少一个酚羟基以及至少一个具有其氢原子被下面通式(1)的基团中的任一个取代的酚羟基的基团。 | ||
| 搜索关键词： | 光化 射线 辐射 敏感 树脂 组合 制备 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种光化射线或辐射敏感树脂组合物，所述组合物包含化合物(P)和碱性化合物，所述化合物(P)含有至少一个酚羟基以及至少一个具有其氢原子被下面通式(1)的基团中的任一个取代的酚羟基的基团，其中R11、R12和R13的每一个独立地表示具有碳原子作为与‑(CR11R12R13)的C结合的原子的有机基团，条件是由R11、R12和R13表示的有机基团含有总计4个以上碳原子并且R11、R12和R13中的至少两个可以彼此结合从而形成环，M11表示单键或二价连接基团，并且Q11表示烷基、环烷基或芳基。
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