[发明专利]非晶质氧化物薄膜的制造方法及薄膜晶体管

摘要

本发明提供一种非晶质氧化物薄膜的制造方法及薄膜晶体管，所述非晶质氧化物薄膜的制造方法包括以下步骤：前处理步骤，对包含有机成分及In的第一氧化物前驱物膜，在小于所述有机成分的热分解温度的温度下使所述有机成分的键结状态选择性地变化，而获得特定的第二氧化物前驱物膜；以及后处理步骤，将残存于所述第二氧化物前驱物膜中的所述有机成分去除，使所述第二氧化物前驱物膜转变为包含所述In的非晶质氧化物薄膜。

主权项

一种非晶质氧化物薄膜的制造方法，包括以下步骤：前处理步骤，其为光处理步骤，其对包含有机成分及In的第一氧化物前驱物膜，在小于所述有机成分的热分解温度的温度下使所述有机成分的键结状态选择性地变化而获得第二氧化物前驱物膜，所述第二氧化物前驱物膜当在以傅立叶变换型红外光谱法进行测定时所获得的红外线吸收光谱中，将红外线的波数1380cm^‑1以上、1520cm^‑1以下的范围分割为红外线的波数1380cm^‑1以上、1450cm^‑1以下的范围与红外线的波数超过1450cm^‑1且1520cm^‑1以下的范围时，位于红外线的波数1380cm^‑1以上、1450cm^‑1以下的范围内的峰值在红外线的波数1350cm^‑1以上、1750cm^‑1以下的范围内的红外线吸收光谱中显示最大值；以及后处理步骤，其是在氧化性气体环境下进行热处理的步骤，其将残存于所述第二氧化物前驱物膜中的所述有机成分去除，使所述第二氧化物前驱物膜转变为包含所述In的非晶质氧化物薄膜，在所述前处理步骤之前还包括形成步骤，所述形成步骤使用含有金属烷氧化物或者有机酸盐的溶液，并利用液相法来形成所述第一氧化物前驱物膜，金属烷氧化物溶液是至少含有下述式I所表示的金属烷氧化物化合物的溶液，M(OR)_n…式I式I中的M为In，n为1以上的整数，R为碳数为1～20的经取代或未经取代的烷基。