[发明专利]超声波元件以及超声波内窥镜有效
| 申请号： | 201280029137.9 | 申请日： | 2012-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN103597855B | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 松本一哉;唐木和久;长谷川守;若琳胜裕 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;A61B8/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 杨谦;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 超声波元件（20）具备：硅衬底（11）；下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；上部绝缘层（15），形成有分别小于下部电极部（12A）的多个空腔（14）；上部电极层（16），具有隔着各个空腔（14）与各个下部电极部（12A）对置配置的、比下部电极部（12A）小而比空腔（14）大的多个上部电极部（16A）、和多个上部布线部（16B），与检测电容信号的接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17）。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 元件 以及 内窥镜 | ||
【主权项】：
一种超声波元件，其特征在于，具备：基体；下部电极层，与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子连接，具有多个下部电极部以及将上述多个下部电极部连接的多个下部布线部；下部绝缘层；上部绝缘层，形成有分别小于下部电极部的多个空腔；上部电极层，与检测电容信号的接地电位的上部电极端子连接，具有隔着各个空腔分别与下部电极部对置配置的、比上述下部电极部小而比上述空腔大的多个上部电极部、和将上述多个上部电极部连接的多个上部布线部；以及保护层，上述上部布线部与上述下部布线部被配设为不对置配置，在包含上述下部电极部的外周部与上述上部电极部的外周部对置配置的区域在内的、上述空腔的整个外周部，具备与接地电位的屏蔽电极端子连接的、进入到上述下部电极部及上述上部电极部的内侧的屏蔽电极部。
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