[发明专利]金属氧化物金属电容器结构

摘要

一种金属氧化物金属(MOM)电容器包括以集成电路的多个金属层和多个过孔层限定的外导电结构，包括第一相对侧壁、第二相对侧壁、具有第一开口和第二开口的腔，以及在第一相对侧壁中的开口。以集成电路的多个金属层和多个过孔层限定内导电结构。内导电结构被布置在外导电结构的腔中并且包括主体部，以及从主体部通过第一相对侧壁中的开口延伸的导电延伸部。氧化物被布置在外导电结构和内导电结构之间。

主权项

一种金属氧化物金属电容器，所述金属氧化物金属电容器包括一个或多个电容器单元并且进一步包括：所述一个或多个电容器单元的单个电容器单元的外导电结构，所述外导电结构以集成电路的多个金属层和多个过孔层限定，所述单个电容器单元的所述外导电结构包括第一组相对侧壁，所述第一组相对侧壁包括第一侧壁和与所述第一侧壁相对的第二侧壁；第二组相对侧壁，所述第二组相对侧壁包括第三侧壁和与所述第三侧壁相对的第四侧壁，其中(i)所述多个金属层一起以及(ii)所述多个过孔层一起形成所述单个电容器单元的所述外导电结构的所述第一组相对侧壁和所述第二组相对侧壁，所述多个金属层与所述多个过孔层交替地布置以形成所述第一组相对侧壁和所述第二组相对侧壁，并且所述第二组相对侧壁中的所述第三侧壁和所述第四侧壁包括由交替布置的多个金属层和多个过孔层所形成的、处于晶格布置的第一多个孔型过孔；腔，具有第一开口和第二开口，所述腔由所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁以及所述第四侧壁限定，以及在所述第一侧壁和所述第二侧壁中的开口；所述单个电容器单元的内导电结构，以所述集成电路的所述多个金属层和所述多个过孔层限定，其中(i)所述多个金属层一起以及(ii)所述多个过孔层一起形成所述单个电容器单元的所述内导电结构，并且其中所述单个电容器单元的所述内导电结构被布置在所述单个电容器单元的所述外导电结构的所述腔中，并且包括主体部，导电延伸部，从所述主体部、从所述腔并且通过在所述第一侧壁和所述第二侧壁中的所述开口向外延伸，以及处于晶格布置的第二多个孔型过孔；氧化物，被布置在所述外导电结构和所述内导电结构之间。