[发明专利]电感耦合等离子体离子源与不主动泵送的液体的高压隔离有效
| 申请号： | 201280030689.1 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN103843107B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | S.克罗格;A.B.威尔斯;J.B.麦金;N.W.帕克;M.W.乌特劳特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/08;H01J37/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 李强,杨炯 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室和和流体，不主动地对该流体进行泵送，该流体包围等离子体室以便在等离子体室与在接地电势下的附近部件之间提供高压隔离，如导电屏蔽。一个或多个冷却装置通过使用蒸发冷却和热管将来自等离子体室的热量消散到周围环境中来对等离子体室进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 离子源 主动 液体 高压 隔离 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束系统，包括：用于提供带电粒子的等离子体源，该等离子体源具有：等离子体室，该等离子体室具有由介电材料组成的壁，该壁具有内部表面和外部表面；盘绕该等离子体室至少一圈的导线；包围该等离子体室的至少一部分并且与其热接触的流体，其中，不主动地对该流体进行泵送，该流体仅通过对流来进行移动；以及用于使该等离子体电偏置到高电压的源电极；一个或多个用于使来自该等离子体源的带电粒子聚焦到样品上的聚焦透镜；以及包含消散液体的至少一个热管，该至少一个热管的一部分与该流体热接触，从而使得来自该流体的热量可以通过该至少一个热管消散以对该流体进行冷却，所述消散流体与包围该等离子体的至少一部分并且与其热接触的流体分离开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280030689.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
