[发明专利]正型抗蚀剂组合物

摘要

本发明的正型抗蚀剂组合物的特征在于，其含有含氟脂肪族醇、聚合物、乙烯基化合物和光产酸剂，含氟脂肪族醇为一元醇、所含有的碳原子数为2～8且氢原子的个数少于等于氟原子数的个数。关于该正型抗蚀剂组合物，溶解或溶胀等的对于有机材料的影响小，可以通过有机聚合物基板的湿式涂布形成抗蚀膜，且基板上形成的抗蚀膜、抗蚀图案显示优异的耐溶剂性。

主权项

1.一种正型抗蚀剂组合物，其包含氢原子的个数少于等于氟原子的个数且碳原子数为2～8的一元含氟脂肪族醇、含有下述通式（1）所示的重复单元A和下述通式（2）所示的重复单元B的聚合物、乙烯基化合物、及光产酸剂，式（1）中，R¹为氢原子、氟原子或碳原子数1～3的烷基，该烷基的一部分或全部氢原子任选被氟原子或氯原子取代，R²为碳原子数1～15的直链状或碳原子数3～15的支化链状的烃基，该烃基的一部分碳原子任选被置换为氧原子，该烃基的一部分或全部氢原子任选被氟原子或氯原子取代，L¹为单键、氧原子、-CH₂-O-、-C（=O）-、-C（=O）-O-或-O-C（=O）-，式（2）中，R³为氢原子、氟原子或碳原子数1～3的烷基，该烷基的一部分或全部氢原子任选被氟原子或氯原子取代，D为下述通式（3）所示的基团或下述通式（4）所示的基团，式（3）中，L²为单键、氧原子、-CH₂-O-、-C（=O）-、-C（=O）-O-、或-O-C（=O）-，L³为单键、碳原子数1～15的直链状或碳原子数3～15的支化链状的2价烃基，该烃基的一部分碳原子任选被置换为氧原子，该烃基的一部分或全部氢原子任选被氟原子或氯原子取代，羧基任选被保护基保护，式（4）中，R⁴为碳原子数1～8的烷基，该烷基的一部分或全部氢原子任选被氟原子或氯原子取代，L²为单键、氧原子、-CH₂-O-、-C（=O）-、-C（=O）-O-、或-O-C（=O）-，L³为单键、碳原子数1～15的直链状或碳原子数3～15的支化链状的2价烃基，该烃基的一部分碳原子任选被置换为氧原子，该烃基的一部分或全部氢原子任选被氟原子或氯原子取代，烷基磺酰胺基任选被保护基保护。